作為行業(yè)領(lǐng)先的傳感器解決方案供應(yīng)商，ifm易福門憑借創(chuàng)新技術(shù)與智能化應(yīng)用，為半導體制造的各個環(huán)節(jié)提供了卓越的解決方案，助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程、降低運營成本。
特別是在Sub-fab（工廠輔助設(shè)施）流程中，自動化技術(shù)的應(yīng)用正逐漸成為提升效率與可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。今天，讓我們深入探討ifm如何通過創(chuàng)新解決方案，助力這一領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)降本增效。
化學品輸送系統(tǒng)（CDS）的智能化升級
化學品在半導體生產(chǎn)的多個階段發(fā)揮著重要作用，包括沉積、光刻膠涂覆、光刻、蝕刻、清洗、薄膜沉積和拋光等。為確?；瘜W品的純度，非接觸式液位測量技術(shù)被廣泛應(yīng)用。ifm的電容式測量技術(shù)通過簡單的空罐調(diào)整和顯示指南，有效克服了管道或儲罐壁上氣泡或附著物帶來的挑戰(zhàn)。
KQ10系列連續(xù)性監(jiān)控液位傳感器：該系列傳感器可安裝在非金屬儲罐外壁，實現(xiàn)料位監(jiān)測。其配備的清晰可見的LED百分比顯示，使用戶能夠輕松掌握液位變化。此外，它還提供三個點料位監(jiān)測位置，可靠區(qū)分空載、滿載和溢流狀態(tài)。
KI60系列電容式接近開關(guān)：該系列開關(guān)可在介質(zhì)內(nèi)或介質(zhì)外運行，透過非金屬儲罐壁進行檢測，有效抑制沉積物的影響。結(jié)合IO-Link技術(shù)，將點液位檢測系統(tǒng)升級為實時液位狀態(tài)監(jiān)測，為企業(yè)提供更精準的化學品管理。
設(shè)備健康管理：通過預(yù)測性維護提升設(shè)備可用性
在半導體制造過程中，真空系統(tǒng)是維持無菌環(huán)境的關(guān)鍵支持系統(tǒng)，干式真空泵的穩(wěn)定運行至關(guān)重要。ifm通過振動監(jiān)測、流量監(jiān)測和溫度監(jiān)測，為設(shè)備健康管理提供了全方位的解決方案：
基于振動監(jiān)測的預(yù)測性維護
ifm振動傳感器（VSA）和振動分析模塊（VSE）可實時監(jiān)測泵的健康狀況，防止增壓泵和干泵發(fā)生災(zāi)難性故障。通過監(jiān)測沖擊、疲勞、摩擦、嚴重程度和溫度等五個方面的機器問題，以及滾動軸承等特定部件，傳感器能夠提前檢測到即將發(fā)生的故障，減少計劃外停機時間，實現(xiàn)能源優(yōu)化。
通過持續(xù)監(jiān)測流量確保適當?shù)睦鋮s效果
冷卻水用于散發(fā)泵內(nèi)壓縮過程中產(chǎn)生的熱量。ifm的SU超聲波流量計采用無機械部件的設(shè)計，提供高精度測量，最大限度地減少壓降，確保冷卻工藝的高效運行。
通過連續(xù)測量溫度保持泵的功能
泵的外殼溫度升高通常表明摩擦增加，可能導致泵故障。ifm的TP + TS分體式測溫方案可對泵體表面溫度進行實時監(jiān)測，避免因溫度異常導致的停機時間。
通過IO-Link技術(shù)，所有傳感器采集的數(shù)據(jù)可實時發(fā)送到更高層級的軟件系統(tǒng)，實現(xiàn)趨勢預(yù)測和分析，為企業(yè)提供實時的設(shè)備健康監(jiān)測。
超純水系統(tǒng)的智能化管理
超純水是半導體生產(chǎn)中的關(guān)鍵資源，因為即使是微小的雜質(zhì)也會導致重大的生產(chǎn)損失，導致數(shù)百小時的半導體晶圓生產(chǎn)無效。ifm為超純水系統(tǒng)的各個環(huán)節(jié)提供了智能化監(jiān)測解決方案：
通過電導率測量確保水質(zhì)
ifm的LDL電導率傳感器是一種高性價比的解決方案，能夠?qū)崟r監(jiān)測水中低至0.04μS/cm的電導率，確保供水系統(tǒng)的穩(wěn)定和高效運行，指導凈化工藝的調(diào)整。
超純水出水管 | 產(chǎn)出流量監(jiān)測
SU Puresonic超聲波流量傳感器采用超聲波技術(shù)，可精確測量高達1000L/min的超純水流量，并集成溫度測量功能，提供高度準確的在線測量過程，確保工藝的一致性和產(chǎn)品質(zhì)量。
通過高準確度液位測量改善水的分配
ifm的LW非接觸式雷達液位傳感器采用80 GHz測量技術(shù)，可對高達10米的儲罐進行高精度測量（±2 mm），確保資源的可用性、防止干轉(zhuǎn)并優(yōu)化水的利用率，避免因液位監(jiān)測不準確導致的系統(tǒng)故障。
此外，ifm傳感器產(chǎn)品在晶圓加工、CMP工藝以及內(nèi)物流都有廣泛應(yīng)用。
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